上市一个月后,中国芯片公司向美国巨头“宣战”
上市1个多月后,国产芯片公司对美国巨头发起“诉讼战”。
8月13日晚间,屹唐股份发布公告称,美国芯片设备巨头应材非法获取其核心技术秘密,并利用相关技术在中国境内申请专利,指控其违反“反不正当竞争法”,侵犯商业秘密,向应材发起诉讼,索赔9999万元。
公告显示,该诉讼涉及一项基于高浓度、稳定均匀的等离子体进行晶圆表面处理的技术,广泛用于干法去胶、干法蚀刻、表面处理及改性等半导体加工设备中,屹唐股份称这项技术属于其关键技术之一。
晶圆制造主要流程
资料显示,在半导体制造中,等离子体通常通过高频电场激发气体产生,由于具备高活性的特点,可以与固体表面(硅晶圆)发生物理或化学作用,实现精密加工。
等离子体的高浓度代指等离子体中粒子密度高,在单位时间内与晶圆表面发生反应的粒子数量更多,同时保证对微小的晶圆表面区域充分发生作用,以实现提效;而稳定均匀更为关键,可以保证同批次的晶圆质量,尤其是大尺寸晶圆表面区域处理效果一致,避免导致芯片报废。
屹唐股份在公告中指控应材通过聘用其全资子公司Mattson员工的形式获取商业机密,称相关员工知晓上述技术并且签署有保密协议,但在入职应材后在中国境内发起专利申请,公开披露了屹唐和其子公司Mattson共有的技术秘密。
该案件目前处于刚刚受理阶段,且屹唐股份也在公告中强调不会对公司经营方面产生重大不利影响,不会影响公司正常生产经营,这种情况下发公告提及诉讼案件颇不寻常。另外,公告亦没有对这项技术属于屹唐和其子公司Mattson提供说明。
“为了造势,争取舆论的支持,”一位资深法律人士对我们表示,“他们本意更像是告诉外界, 中国公司可以挑战美国大企业。”
01 市值700亿的国产半导体设备龙头
屹唐股份作为半导体设备龙头,7月8日在科创板敲钟上市,开盘大涨近200%,市值超过770亿元。截至发稿,其最新市值为697.22亿元。
2020年5月、9月和1...
